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| 항목 | 내용 |
|---|---|
| 단위 | Miter법을 주로 하고, 영국 단위를 병용해서 기록 |
| Class 표시 | 0.5㎛이상의 입자수를 10/㎥로 하고 X를 Class 표시로 했다. Miter법 표시임을 명확히 하기 위해 M을 부가했다. 예를들면, 209D 에 있어서 Class 100은 100P/ft≒10 P/㎡ 이고, Class M3.5로 표시합니다. |
| Class분류 | 209D Class 1보다 청정도가 높은 Class M1 및 Class 100,000보다 청청도가 낮은 Class M7을 추가했습니다. |
| 미소입자계측 | 계측에 CNC의 사용을 가능하게 하고, 그 경우 계측 입자 지름을 0.02㎛ 이상으로 했습니다. 이 경우 표시는 Class U(X)로 합니다. U = 미소입자 계측표시 X = 최대 허용 입자농도 P/㎥ |
| 표준측정입자 | 0.1, 0.2, 0.3, 0.5, 5Micron을 기준으로 하나, 그 외의 입자 지름을 사용해도 좋습니다. |
| 샘플링 | 계측 장소에 따라 다른 샘플링 유량에 의해 계측해도 좋으나, 입자농도는 개/단위체적으로 표시할 것. 샘플링 점이 10군데 이상인 경우 측정치는 단순평균으로 괜찮다. Class M2.5보다 청정도가 높은 경우에는 계측 시간단축을 위해 연속 샘플링을 해도 좋습니다. |
| 부록 | 209D의 관련규격, 용어는 삭제되고, 등속 흡인법, 초미소립자 농도 측정법, Class M2.5 보다 청정도가 높은 경우의 연속 샘플링법의 3항목이 추가됩니다. |
| Class표시 | Class상한치 | |||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 0.1㎛ | 0.2㎛ | 0.3㎛ | 0.5㎛ | |||||
| 단위체적 | 단위체적 | 단위체적 | 단위체적 | |||||
| Miter법 | 영국단위 | (㎥) | (ft3) | (㎥) | (ft3) | (㎥) | (ft3) | (㎥) |
| M1 | 350 | 9.91 | 75.7 | 2.14 | 30.9 | 0.875 | 10.0 | |
| M1.5 | 1 | 1,240 | 35.0 | 265 | 7.50 | 106 | 3.0 | 35.3 |
| M2 | 12,400 | 99.1 | 757 | 21.4 | 309 | 8.75 | 100 | |
| M2.5 | 10 | 35,000 | 350 | 2,650 | 75.0 | 1,060 | 30.0 | 353 |
| M3 | … | 991 | 7,570 | 214 | 3,090 | 87.5 | 1,000 | |
| M3.5 | 100 | … | … | 26,500 | 750 | 10,600 | 300 | 3,530 |
| M4 | … | … | 75,700 | 2,140 | 30,900 | 875 | 10,000 | |
| M4.5 | 1,000 | … | … | … | … | … | … | 35,300 |
| M5 | … | … | … | … | … | … | 100,000 | |
| M5.5 | 10,000 | … | … | … | … | … | … | 353,300 |
| M6 | … | … | … | … | … | … | 1,000,000 | |
| M6.5 | 100,000 | … | … | … | … | … | … | 3,530,000 |
| M7 | … | … | … | … | … | … | 10,000,000 | |
| Class표시 | 기류형태 | 평균기류속도 | 시간당환기 |
|---|---|---|---|
| M7 & M6.5 (Class 100,000) | NM | .005-.041 m/sec (1-8ft/min) | 5-48 |
| M6 & M5.5 (Class 10,000) | NM | .051-.076 m/sec (10-15ft/min) | 60-90 |
| M5 & M4.5 (Class 1,000) | NM | .127-.203 m/sec (20-40ft/min) | 150-240 |
| M4 & M3.5 (Class 100) | UNM | .203-.406 m/sec (40-80ft/min) | 240-480 |
| M3 & M2.5 (Class 10) | U | .254-.457 m/sec (50-90ft/min) | 300-540 |
| M2 & M1.5 (Class 1) | U | .305-.457 m/sec (60-90ft/min) | 360-540 |
| M1 Cleaner | U | .305-.508 m/sec (60-100ft/min) | 360-600 |
| 항목 | 내용 |
|---|---|
| 출입구 | · 입구,출구는 최소로 하고 따로 생각해야 합니다. (특히, Air Shower설치시) · 직접 외기에 닿지 않도록 할 것(Air 락룸) · 위치는 하류로 한다.(특히 크로스플로어) |
| 갱의실 | · 갱의실 공기량은 많이 취해야 합니다. · 세면대를 부착시키고, 사람이 많은 경우는 음료수를 준비 · Clean Room간은 적어로 이중문으로 해야 합니다. (Air Shower장치 설치) · 내부와의 통신을 가능하게 해야 합니다. · 필요하다면 휴식실을 설치해야 합니다. |
| 반출·반입 | · 가능한 한 Pass Box를 이용(부품) · 반입구를 부착시킵니다.(대형장치) |
| 실내배치 | · 최소로 합니다. 단순하게 합니다. · 관리사무소를 외부에 둔다. 연락법 고려. · 확장계획 · 사람의 이동을 최소로 합니다. · 청정기류 방향과 작업위치 · 발진 작업에는 칸막이, 국소배기, Return Duct로 대책. |
| 실내설비 | · 배선관, duct 노출은 최소로 합니다. · 조명기구는 가능한 한 천장안으로. · 비상구, 화재경보, 소화기, 정전, 유독가스 · 인터폰, 전화 · 청소 · 입자농도, 온도, 습도기록 |
| 항목/방식 | 수직층류방식 | 수평층류방식 | 난류방식 | 클린튜브방식 |
|---|---|---|---|---|
| Vertical Laminar Airflow Clean Room |
Horizontal Laminar Airflow Clean Room |
Turbulent Airflow Clean Room |
Clean Tube Clean Room |
|
| 청정도 | Class 1~100 | Class 100 | Class 1000~100000 | Class 1 |
| 작업중 청정도 | 작업자로부터 영향은 적다. |
상류발진이 하류에 영향을 끼친다. |
작업자로부터 영향 있음 |
작업자로부터 영향 있음 |
| 초기투자 비용 | 상 | 중 | 하 | 하 |
| 운전비용 | 상 | 중 | 하 | 하 |
| 보수 | 쉬움 | 어려움 | 쉬움 | 어려움 |
| 유지관리 | 쉬움 | 쉬움 | 쉬움 | 어려움 |
| 확장성 | 어려움 | 어려움 | 가능하다 | 어려움 |
| 정밀제어 | 실전체 제어를 위해 실내의 불균형 약간 있음. |
상류발진이 하류에 영향을 끼친다. |
불균형 있음 | 고청정도 유지 |
| ROOM | 압력차(mmAq) |
|---|---|
| 청정도가 다른 CLEAN-ROOM 상호간 | 0.5 |
| CLEAN-ROOM과 CLEAN복도,갱의실 등 | 0.5 ~ 1.0 |
| CLEAN복도,갱의실과 일반실 | 1 |
| CLEAN-ROOM과 일반실 | 1.5 |
| 청정도 | 환기횟수 |
|---|---|
| CLASS 100 | 200 ~ 600 |
| CLASS 1,000 | 50 ~ 70 |
| CLASS 10,000 | 30 ~ 40 |
| CLASS 100,000 | 20 ~ 30 |
| CLASSIF CATION BY FED. STANDARD | COLOR |
|---|---|
| OUT AIR | BLACK |
| DUST-CONTROLLED AREA | GRAY |
| CLASS 10,000 ~ 100,000 | LIGHT GRAY |
| CLASS 100 ~ 10,000 | WHITE |
| 실또는 건물의 종류 | 소음계 dB(A) | NC / NCA치 |
|---|---|---|
| 크린룸 | 55 ~ 60 | 45 ~ 50 |
| 스튜디오(실 용적중) | 25 ~ 30 | 15 ~ 20 |
| 음악홀 | 30 ~ 35 | 20 ~ 25 |
| 연극장,강당,다목적홀 | 35 ~ 40 | 25 ~ 30 |
| 도시주택,아파트,호텔,병실 | 35 ~ 45 | 25 ~ 35 |
| 학교교실,연구실,회의실 | 35 ~ 45 | 25 ~ 35 |
| 영화관 | 35 ~ 45 | 25 ~ 35 |
| 도서관 | 35 ~ 45 | 25 ~ 35 |
| 소사무실,공장내의 시험실,연구실 | 40 ~ 50 | 30 ~ 40 |
| 대사무실,은행관청의 외래부,로비 | 45 ~ 55 | 35 ~ 45 |
| 상점,레스토랑 | 45 ~ 55 | NCA 35 ~ 45 |
| 공장내의 제어실,관리실 | 45 ~ 55 | NCA 35 ~45 |
